サブミクロンX線検査装置（CT機能付）
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設備構成・定格
TUX-3200
Ｘ線源：管電圧40kV～120kV，試料台：Φ400，分解能：0.3μm～3μm，画素数：140万画素，最大拡大率：4800倍
ＣＴステージ
ＣＴ撮影用PC
ＣＴ再構成用PC
設備の用途・特色等
（1）設置目的
本装置のサブミクロンＸ線検査装置（ＣＴ機能付）は、地下埋設用樹脂パイプの中にナノ粒子材料を混ぜた場合の分散状況の評価を成分測定
及び画像解析の両面から行う目的で装置設置した。
（2）特色
装置の大きな特色は、①Ｘ線管と②試料ステージの２点である。①Ｘ線管は２段の縮小レンズとそのレンズの収差を補正する機能を有した高精
度の電子工学系と、電子源に高電子流密度エミッター（ＬａＢ６）を採用し、高輝度のＸ線をとりだす事を兼ね備えた高輝度、高分解能Ｘ線管を搭載し
ている。②試料ステージは直径約400ｍｍの大型ターンテーブルを搭載し観察する事が可能である。また試料テーブルは水平のまま、検出系を傾
斜させる機構を備えており、高倍率を維持したまま斜めから観察する事が可能である。
（3）用途
サブミクロンＸ線検査装置（ＣＴ機能付）ＴＵＸ－３２００を使用してナノ粒子材料が混在した地下埋設用パイプの分析評価を行い、より加工しやすく耐
久性があるパイプを成形するための条件を見つける。試験片レベルでのナノ粒子が分散している状態を測定及び観察して、製品レベルでのナノ粒子
の分散状態を研究するために装置を使用する。
（4）使用責任者
機械工学科 邉 吾 一
（5）設置場所
津田沼校舎 32号館208号室