所報 103

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－　　－9Published PaperPhotocatalytic Activity of Titanium Oxide Thin FilmDeposited on Transparent PET FilmShota YAZAWA, Yusuke KUDO, Kiyozumi NIIZUMATitanium dioxide (TiO2) is generally known as photocatalyst. TiO2 has emerged as an excellent photocatalyst materi-al for environmental purification. The TiO2 works by only light. It is expected that the application range of the TiO2 photocatalyst extends greatly. Especially, it is expected to be used indoors. Objects of various shapes exist in the inte-rior. Therefore, the flexible substrate form can change easily when necessary. I think that it is necessary to form it on a flexible substrate. It is possible to prepare strong adhesion and dense thin film by using a sputtering method. In this study, TiO2 thin films deposited on flexible substrate called PET film by RF magnetron sputtering method. The authors investigated the relationship between the photocatalytic activity and the film thickness. From the result of X-ray dif-fraction patterns, diffraction peak intensities became higher with increasing film thickness. From the result of electrical resistivities, it turned out that the optimal film thickness existed. The measurement result of the oxidative dissolution reaction also showed that the optimal film thickness existed.Keywords: Titanium dioxide, Photocatalyst, Thin film, HydrophilicityPETフィルムに成膜した酸化チタン薄膜の光触媒活性近年，環境汚染は地球規模，あるいは私たちが生活する中で無視することができない社会問題となっている．自然エネルギーや私たちが生活するうえで使用しているエネルギーを活用して環境汚染を解決することが大切であると考える．その解決策の一つとして光触媒がある．光触媒として代表的な酸化チタンは非常に身近な材料であり，化粧品などの顔料，食品添加物として歯磨き粉などに含まれているので非常に安全，化学的に安定している．酸化チタンには酸化分解作用と超親水性作用という作用があり，大気浄化，防汚, 殺菌，水質浄化，防曇などの効果があることがわかってきた．光触媒は建造物の壁や窓などに施工されることが一般的で，硬度が高いものに塗布されていることが多く光触媒を塗装するところが非常に限定的になっていると考えられる．それに比べて，フレキシブル基板は透明かつ非常に薄く，柔軟性の高い基板である．フレキシブル基板を用いることで，非常に薄くそして軽量化を図ることが可能となり，使用用途が広がると考えられる．酸化チタン等の光触媒を成膜する方法としてゾル-ゲル法やスプレーを用いた方法，スパッタリング法が存在する．スパッタリングで成膜した膜は緻密で基板との密着力が強いことや，熱を使用し膜質を改善しなくてよいので低温での成膜に適していて，膜の再現性が良いという特徴がある．また，不活性ガス以外にO2やN2などの反応性ガスを加えることにより化合物膜を容易に成膜できるので酸化チタン以外の成膜など応用範囲が広いことが挙げられる．そこで本研究ではRFマグネトロンスパッタリングによる酸化チタン薄膜をフレキシブル基板であるPET（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上への成膜を試み，膜厚を変化させたときの結晶構造，光触媒活性を評価し，これらの諸物性の相関とPETフィルム上における酸化チタン薄膜の膜厚依存性の影響についてガラス基板上の薄膜と比較し検討を行った．キーワード：酸化チタン，光触媒，薄膜，親水性Journal （掲載誌）Journal of Institute of Electrostatics Japan, Vol.42, No.1 pp34-39 (2018)